»ï¼ºÀüÀÚ´Â 70nm °øÁ¤±â¼úÀ» Ȱ¿ëÇÑ 4Gb NAND flash memoryÀÇ ¾ç»êÀ» °³½ÃÇÏ¿´´Ù.
ÁÖ¸ñÇÒ Á¡Àº ArF±¤¿øÀ» »ç¿ëÇÑ Photo Lithography±â¼úÀ» Àû¿ëÇÑ °ÍÀÌ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚÀÇ 4Gb NAND flash memoryÀÇ ¾ç»êÀº ´Ù¾çÇÑ mobile applicationÀÇ È®´ë·Î
À̾îÁ® ÇâÈÄ ¸Þ¸ð¸®½ÃÀåÀ» ¼±Á¡ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °è±â°¡ µÉ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
ƯÈ÷ ArF Photo LithographyÀû¿ëÀº ÀÌÁ¦ºÎÅÍ ArF ±¤¿øÀÌ º»°ÝÀûÀ¸·Î »ó¾÷ÀûÀ¸·Î Àû¿ëµÇ°í
ÀÖ´Ù´Â Á¡¿¡¼ Àǹ̰¡ Å©¸ç ÀÌ¿¡ µû¶ó °ü·ÃµÈ material ½ÃÀåÀÇ º¯Èµµ ¿¹»óµÈ´Ù.
½Å È«Çö/ÃѰýº»ºÎÀå
|